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任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。下面介绍它存在的一些缺点。 (1) 设备费用高 在抽速大于1000 L/s 的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设备投资大。然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。若与小型或中型扩散泵相比，小涡轮分子泵是相当贵的。然而考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。
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