广州帕纳光电科技有限公司从事BOC EDWARDS高真空分子泵EXT255HI及其驱动器的维修和销售
对颗粒物或沉积物敏感 :若物体(螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片)落入正在运转的涡轮分子泵中,涡轮会遭到损坏,往往需返回制造厂进行维修。一旦出事故损坏就是严重的,不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见,在泵入口处装上细孔眼的过滤网,以保护泵的正常运转。这种措施对泵的有效抽速损失较大。敷在叶片上厚的沉积物,会造成对叶片的磨损和通道堵塞,也会影响转子的不平衡。如果一些粒子进入轴承,造成磨损,能降低泵的工作寿命。因此在某些应用中,安装保护措施是必要的。
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