西门子法是由德国Siemens公司发明并于1954年申请了专利1965年左右实现了工业化。经过几十年的应用和展,西门子法不断完善,先后出现了第一代、第二代和第三代,第三代多晶硅生产工艺即改良西门子法,它在第二代的基础上增加了还原尾气干法回收系统、SiCl4回收氢化工艺,实现了完全闭环生产,是西门子法生产高纯多晶硅技术的最新技术,其具体工艺流程如图1所示。硅在西门子法多晶硅生产流程内部的循环利用。振鑫焱光伏科技有限公司硅片回收,电池片回收,原生多晶回收,银浆布回收,单晶硅回收,多晶硅回收,太阳能电池片回收,光伏组件回收,电子回收,金属回收,电路板回收,蓝宝石回收等。
冶金级硅的提炼并不难。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。这样被还原出来的硅的纯度约98-99%,但半导体工业用硅还必须进行高度提纯(电子级多晶硅纯度要求11N,太阳能电池级只要求6N)。而在提纯过程中,有一项“三氯氢硅还原法(西门子法)”的关键技术我国还没有掌握,由于没有这项技术,我国在提炼过程中70%以上的多晶硅都通过氯气排放了,不仅提炼成本高,而且环境污染非常严重。我国每年都从石英石中提取大量的工业硅,以1美元/公斤的价格出口到德国、美国和日本等国,而这些国家把工业硅加工成高纯度的晶体硅材料,以46-80美元/公斤的价格卖给我国的太阳能企业。振鑫焱光伏科技有限公司硅片回收,电池片回收,原生多晶回收,银浆布回收,单晶硅回收,多晶硅回收,太阳能电池片回收,光伏组件回收,电子回收,金属回收,电路板回收,蓝宝石回收等。
多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅,为了提高原料利用率和环境友好,在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。该工艺将工业硅粉与HCl反应,加工成SiHCl3 ,再让SiHCl3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。振鑫焱光伏科技有限公司硅片回收,电池片回收,原生多晶回收,银浆布回收,单晶硅回收,多晶硅回收,太阳能电池片回收,光伏组件回收,电子回收,金属回收,电路板回收,蓝宝石回收等。